Пилипенко Владимир Александрович

Белорусский физик. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (2000). Доктор технических наук (1991), профессор (1995).

Биография

Окончил Белорусский государственный университет (1971).

С 1971 года инженер, начальник отдела научно-исследовательского, конструкторского и технологического унитарного предприятия «Белмикросистемы» НПО «Интеграл». С 1996 года заместитель директора Государственного центра «Белмикроанализ» НПО «Интеграл».

Научная деятельность

Провёл исследования в области контролируемого изменения свойств полупроводников, тонких пленок металлов и диэлектриков. Выявил эффекты, приводящие к ускорению процессов модификации свойств различных материалов под воздействием световых импульсов и предложил механизмы их возникновения: удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации иенналегированных слоев кремния; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных пленок алюминия и их контакта к кремнию; одностадийное формирование дисилицида титана. Разработал методы расчета температурных режимов и определил оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию таких напряжений. Осуществил моделирование процессов формирования различных тонкопленочных систем с применением быстрой термической обработки: гетерирования, оплавления легкоплавких стекол, рекристаллизации пленок алюминия, диффузионного синтеза силицидов различных металлов и др.

Автор около 260 научных работ, в том числе 7 монографий, и 40 изобретений.

Библиография

• Физические основы быстрой термообработки. Создание многоуровневой металлизации. Мн.: БГУ, 2000 (в соавт.).
• Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионолегированных слоев, БТО в технологии СБИС. Мн.: БГУ, 2001 (в соавт.).
• Физические основы быстрой термообработки. Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия. Мн., 2002 (в соавт.).
• Быстрые термообработки в технологии. СБИС. Мн.: Изд. центр БГУ, 2004.