Румак Николай Владимирович

Белорусский ученый в области технологии микроэлектроники, член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (1991), доктор технических наук (1986), профессор (1988), лауреат Государственной премии БССР (1984), первый председатель Комитета по науке и технологиям Республики Беларусь (1994–1995).

Биография

Николай Владимирович Румак родился 1 июля 1941 года в деревне Хойно Пинского района Брестской области. В 1965 году окончил Белорусский политехнический институт (ныне Белорусский национальный технический университет) по специальности «Технология машиностроения, станки и инструменты». С 1965 по 1967 год работал инженером в Конструкторском бюро точного электронного машиностроения в Минске.

С 1967 года началась его многолетняя научная деятельность в Физико-техническом институте (ФТИ) Академии наук БССР: аспирант, младший научный сотрудник. В 1970 году защитил кандидатскую диссертацию на тему «Исследование поверхностного слоя пластически деформированных металлов при прокатке». С 1978 года — заведующий отделом рентгеновских исследований ФТИ АН БССР. В 1986 году защитил докторскую диссертацию. В 1988 году ему было присвоено звание профессора Минского радиотехнического института (с 1993 года — Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники), где он работал на кафедре технологии радиоэлектронной аппаратуры. В 1990 году назначен заместителем директора по научной работе ФТИ АН БССР. В 1991 году избран членом-корреспондентом Академии наук БССР.

26 сентября 1994 года был назначен первым председателем Комитета по науке и технологиям Министерства образования и науки Республики Беларусь (с 2004 года — Государственный комитет по науке и технологиям Республики Беларусь). На этой должности он внес значительный вклад в становление Комитета как координационного центра, определяющего и организующего государственную научно-техническую политику республики.

Скончался 8 июля 1995 года после тяжелой болезни.

Научная деятельность

Научные исследования Николая Румака были посвящены ключевым проблемам технологии микроэлектроники, в особенности созданию и исследованию многослойных композиций металл-диэлектрик-полупроводник (МДП) со строго регламентированными параметрами. Он выполнил комплекс фундаментальных работ по развитию теории окисления полупроводников, изучал природу взаимодействия потоков атомов, ионов и излучения с поверхностью твердого тела, а также разрабатывал теоретические основы и технологии формирования компонентов интегральных микросхем.

К числу наиболее значимых научных результатов ученого относятся:

• Разработка новых методов создания высококачественных особо тонких пленок подзатворного диэлектрика для МДП-структур.
• Создание эффективных критериев выбора технологических режимов изготовления МДП-микросхем, в том числе сверхбольших и сверхбыстродействующих элементов памяти на комплементарных МДП (КМДП) структурах.

Автор более 200 опубликованных работ, в том числе 4 монографий: «Система кремний – двуокись кремния в МОП-структурах» (1986), «Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике» (в соавторстве, 1990), «Компоненты МОП-интегральных микросхем» (1991) и «Тонкие неорганические пленки в науке и технике» (1991). Новизна его технических решений защищена 64 авторскими свидетельствами на изобретения. Под руководством Н. В. Румака подготовлены 6 кандидатов наук.